在測量采樣過程中，當蔡司三坐標測針與被測件表面觸碰時，測頭系統會有信號顯示，作為測量的瞄準信號，進而通知計算機進行數據的采集，以得到得被測點的坐標值。
此外，由于蔡司三坐標測量機通過測頭系統進行探測，得到的點位坐標值是測球中心的坐標值，為了獲得被測工件的實際尺寸，還需加上或減去測球的動態直徑值。進入測頭校準程序后，對標準球進行測量，測量方法與幾何元素測量程序中的球的測量方法一樣，當采點數量達到要求時，測量程序會自動對測量點進行計算處理，將處理后的測頭校準結果，自動返回到測頭校準對話框界面中。在按下回車按鍵后，校準后的測頭數據將作為修正值用于后續的應用數據處理中。基準后的測頭數據包括測頭半徑及球度誤差還有測球中心相對于零號測頭中心的坐標值。